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實驗室凈化工程就是控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。實驗室凈化主要分為亂流式、層流式和復合式。

1、亂流式

空氣由空調(diào)箱經(jīng)風管與潔凈室內(nèi)之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈工程室，并由潔凈室兩側(cè)隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔室等級1,000-100,000級。構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本低，潔凈室的擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

2、層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋過濾器后進入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。其型式可分為水平層流式和垂直層流式。

水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴重。

垂直層流式，房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區(qū)域。復合式，復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

3、實驗室凈化的主要方法有通風：實驗室經(jīng)常由于實驗時間長，人員多和實驗過程中產(chǎn)生一些有害氣體，造成空氣污濁，對人體不利。為了防止實驗室工作人員吸入或咽入一些有毒的、可致病的或毒性不明的化學物質(zhì)和有機氣體，實驗室中應有良好的通風，必要時應設(shè)空調(diào)。

4、實驗室凈化控制濕度和溫度：實驗室要求適宜的溫度和濕度。室內(nèi)的小氣候，包括氣溫、濕度和氣流速度等，對在實驗室工作的人員和儀器設(shè)備有影響。夏季的適宜溫度應是18-28℃，冬季為16-20℃，濕度在30%(冬季)-70%(夏季)之間。除了特殊實驗室外，溫濕度對大多數(shù)理化實驗影響不大，但是天平室和精密儀器室應根據(jù)需要對溫濕度進行控制。實驗室凈化控制潔凈度：經(jīng)常保持實驗室的清潔是非常重要的。室外大氣中的塵埃，借通風換氣過程會進入實驗室，實驗內(nèi)含塵量過高，空氣不凈，不但影響檢測結(jié)果，而且，其微粒落在儀器設(shè)備的元件表面上，可能構(gòu)成障礙，甚至造成短路或其他潛在危險。潔凈實驗室是要花銀子的，建議不是特殊需要可不進行潔凈實驗室設(shè)計，若有需要可以對大型精密儀器室、特殊實驗室進行設(shè)計，一般達到萬級凈化要求即可。若有多個潔凈實驗室，送排風系統(tǒng)應各自獨立設(shè)計，獨立使用。